实验室真空双靶直流射频磁控溅射镀膜仪

专业资料 > 自然科学 > 物理 > 文档预览

1 页 1706 浏览 10 收藏 5.0分

摘要:双靶直流射频磁控镀膜仪CY-MSP300S-DCRF实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。选配直流电源和射频电源，功率从500W-1000W不等，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜等。双靶直流射频磁控溅射镀膜仪供电电压AC220V，50Hz整机功率6KW极限真空度5x10-4Pa尺寸φ150mm加热温度最高500℃载样台参数控温精度±1℃转速1-20rpm可调数量2个，2”磁控溅射头磁控溅射头参冷却方式水冷，所需流速10L/min数水冷机规格10L/min流速的循环水冷机腔体尺寸φ300mmX340mmH腔体材料不锈钢真空腔体观察窗口φ100mm开启方式上顶开式，便于更换靶材气体流量控制器1路200sccmAr；真空泵配有一套分子泵系统，抽速600L/S膜厚仪石英振动薄膜测厚仪一台，分辨率0.10Å直流电源，500W-1000W，适用于制备金属膜溅射电源射频电源，500W-1000W，适用于非金属镀膜操作方式一体机电脑操作整机尺寸1090mmX900mmX1250mm整机重量350kg

温馨提示：当前文档最多只能预览 5 页，若文档总页数超出了 5 页，请下载原文档以浏览全部内容。

本文档由匿名用户于 2021-04-16 01:14:01上传分享

下载原文档(15.20 KB)

你可能在找

实验室真空双靶直流磁控溅射镀膜仪

双靶直流磁控镀膜仪CY-MSP300S-2DC实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

4.6 分 2 页 | 15.23 KB | 2021-02-20 02:02
实验室真空单靶射频磁控溅射镀膜仪

单靶射频磁控镀膜仪CY-MSP300S-RF实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

4.7 分 1 页 | 15.20 KB | 2021-04-16 01:10
实验室真空单靶直流磁控溅射镀膜仪

单靶直流磁控镀膜仪CY-MSP300S-DC实验室专用镀膜仪，磁控溅射相较于普通的等离子溅射拥有能量高速度快的优点，镀膜速率高，样品温升低，是典型的高速低温溅射。磁控靶配有水冷夹层，水冷机能够有效的带走热量，避免热量在靶面聚集，使磁控镀膜能长时间稳定工作。紧凑化设计，实现了体积与性能的平衡，造型美观功能全面。整机均采用触控屏控制，内置一键式镀膜程序，操作简单易上手，实验室制备薄膜的理想设备。

5.0 分 2 页 | 15.31 KB | 2021-02-20 02:02
实验室多弧离子镀膜仪-硬质薄膜

多弧离子镀膜仪CY-MIOP500S-2TA离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来，不仅能明显地改进了膜质量，而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快，薄膜附着力强，绕射性好，膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色，且膜层与基板结合牢固，故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率，改善成效果。该镀膜仪还采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置。

4.8 分 2 页 | 105.93 KB | 2021-02-02 10:18
高三物理光学、原子物理练习

①牛顿：微粒说；②惠更斯：波动说；③麦克斯韦：电磁说；④爱因斯坦：光子说；1、光学现象：（1）光的直线传播，光的反射现象；（2）光的干涉、衍射现象；（3）光电效应现象；2、杨氏双缝干涉实验：相干光源(频率相同薄膜干涉：3、光的衍射：光绕过障碍物（或孔隙）而偏离直线传播的现象。要观察到明显的光的衍射现象，障碍物（或孔隙）的尺寸必须比光波的波长小或与它差不多。（1）单缝衍射：中央亮纹较宽，其两侧亮纹的亮度明显递减。（2）圆孔衍射：明暗相间的同心圆环。（3）小圆盘衍射：“泊松亮斑”。4、电磁波谱：麦克斯韦提出光的电磁说，后经赫兹实验证实。

4.9 分 11 页 | 236.22 KB | 2022-09-16 00:01
防辐射眼镜有用吗？眼镜品牌有哪些？

www.aliyj.com防辐射眼镜有用吗？眼镜品牌有哪些？随着现在日常生活频繁的使用电子设备，人们对电子产品在使用过程中所产生的辐射越来越关注。防辐射眼镜是一种镜片中含有某些化合物介质的防辐射膜的眼镜，其工作原理是利用不同波长的电磁波互相干扰以达到防辐射目的眼镜。主要应用于被电脑、手机、复印件、X光等屏幕散发出的辐射所受伤的眼睛上，顾名思义，就是能防止激光对眼睛的辐射。二、防辐射眼镜真的管用吗？

4.9 分 2 页 | 422.40 KB | 2021-02-06 12:54
镀膜玻璃是什么-镀膜玻璃价格

贵阳装修http://gy.oceano.com.cn/镀膜玻璃是什么镀膜玻璃价格随着建筑、汽车、装饰装修、信息产业技术等行业的发展和人们对生活空间环境要求的提高，镀膜玻璃作为一种功能性加工产品得到广泛应用镀膜玻璃是什么镀膜玻璃也称反射玻璃，是一种表面涂镀薄膜的玻璃，可镀一层或多层薄膜，镀膜可为金属、贵阳装修http://gy.oceano.com.cn/合金或金属化合物。镀膜可以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃根据产品的不同特性，一般可以分为导电膜玻璃、低辐射玻璃、热反射玻璃等几类。

4.8 分 3 页 | 209.00 KB | 2021-03-17 15:23
三年级学生清明节郊游活动总结

我们一直往前走，听见远处有哗哗的流水声，我们拼命跑去，跟前出现了一条清澈见底的溪流，眼前是从高处流下来的瀑布，美丽极了。再往里面走还有三四处的瀑布，样子几乎相同。我们走到洞里把手伸到流水上，水花溅起来，把我的袖子都给溅湿了。往深处走，来到了开心训练营，那里有悬空阶梯,还有空中跷跷板和射箭靶等等。射箭靶看上去很简单，但射起来并不容易。我第一射中箭七环，第二箭射中二环之后就一直没射到靶子上，直到最后一箭才射到靶

3.0 分 3 页 | 16.50 KB | 2020-03-24 13:23
人教版高中物理选修3-4-第十四章《电磁波》测试题(解析版)

第十四章《电磁波》测试题（解析版）一、单选题(共15小题)1.彩色超声波检测仪，简称彩超，工作时向人体发射频率已知的超声波，当超声波遇到靠近或远离探头的血流时探头接收的回波信号频率会升高或降低．利用计算机技术给这些信号加上色彩，显示在屏幕上，可以帮助医生判定血流的状态．而用X射线对人体的摄影，简称CT.工作时X射线对人体进行扫描，由于人体各种组织的疏密程度不同，部分射线穿透人体而部分被遮挡，检测器接收到的射线就有了差异，从而可以帮助医生诊断病变．根据以上信息，可以判断下列说法中正确的是()A．彩超工作时利用了多普勒效应B．CT工作时利用了波的衍射现象C．彩超和CT工作时向人体发射的都是纵波D．彩超和CT工作时向人体发射的都是电磁波2.下列电磁波中波长最长的波是

3.0 分 9 页 | 55.95 KB | 2019-03-13 20:58
铝氧化膜测厚仪

OU3500铝氧化膜测厚仪使用说明书基本概述铝氧化膜测厚仪又叫铝氧化膜测厚仪价格、铝氧化膜测厚仪厂家、阳极氧化膜测厚仪、阴极氧化膜测厚仪、铝氧化膜检测仪、铝氧化膜测试仪、磁阻法涂层测厚仪、磁阻法镀层测厚仪、磁阻法测厚仪价格、磁阻法测厚仪厂家、磁性测厚仪、磁阻法测厚仪、磁式测厚仪、磁感应测厚仪、磁性覆层测厚仪、磁性镀层测厚仪、磁性涂层测厚仪价格、油漆镀层测厚仪、油漆覆层测厚仪、油漆涂层测厚仪厂家、油漆涂层测厚仪价格、油漆涂层测试仪、油漆涂层检测仪、电泳镀层测厚仪、电泳漆覆层测厚仪、电泳漆漆膜测厚仪、电泳漆厚度测试仪、涂镀层测量仪、电镀层测试仪、防腐层检测仪、涂镀层测试仪、涂镀层测量仪、油漆测厚仪价格、油漆层测厚仪

4.8 分 29 页 | 1.61 MB | 2021-03-04 11:57