废气排放管理办法

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摘要:废气排放管理办法2012-03-10发布2012-03-20实施废气排放管理办法文件类别：作业类文件/动力系统管控文件初始编制者/日期：胡家伟/文件修订者/日期：胡家伟/文件审批记录：部门/职位姓名副总裁基建动力部总监ESH部经理文件修改履历：版本号更改内容/描述发布日期RevDescriptionofChangesReleasedateA/0文件新编1目的与范围使PM人员，设备运行工程师，系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及减轻废气系统管理不当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废气排放标准安全排放。2规范性引用文件中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准3职责相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行；动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；4术语和定义无5管理内容与治理措施方法废气污染源分析废气处理系统所处理排放的废气主要来源于：生产工艺过程包括扩散前清洗（制绒）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清洗、扩散、PEVCD等工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气。废气处理系统根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。5.2.1一般废气（废热）排风系统该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。5.2.2酸性废气

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