叉指状微小力装置力学特性的数值模拟与分析

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摘要:第41卷第9期2015年9月Vol.41No.9September，2015中国测试CHINAMEASUREMENT&TESTdoi院10.11857/j.issn.1674-5124.2015.09.026叉指状微小力装置力学特性的数值模拟与分析徐立1袁2袁郑培亮1袁2袁李倩2袁黄振宇1袁2广东广州510405；2.广东省计量科学研究院，广东广州510405）（1.广东省现代几何与力学计量重点实验室，摘要院针对电容式微小力装置极板间距测量误差对输出结果影响较大问题袁采用理论分析与数值模拟相结合袁分析一种能大幅减小极板间距测量不确定度对输出微小力影响的新型叉指状微小力装置遥重点探讨不同叉指重叠长度尧加载电压尧间距和厚度等条件下袁装置输出微小力特性遥结果表明院叉指参数满足一定关系袁叉指重叠长度变化对输出微小力几乎无影响曰输出微小力与加载电压平方以及叉指厚度成正比曰随着叉指间隙增大袁输出微小力迅速减小遥该装置对简化电容式微小力源装置极板间距测量与位置控制附加机构尧微小力源装置设计均具有参考价值遥关键词院叉指电容曰力学特性曰数值模拟曰微小力文献标志码院A文章编号院1674-5124渊2015冤09-0115-05Numericalsimulationanalysisonmechanicalcharacteristicsoffingerstructuremicro-forcedevicesXULi1，2，ZHENGPeiliang1，2，LIQian2，HUANGZhenyu1，2（1.GuangdongProvincialKeyLaboratoryofMode

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